电子厂工业废气处理中通常会采用绝缘层材料、有机溶剂、清洁剂、显像剂、光刻、蚀刻液等中带有大量有机物的成分。在下加工工艺中,这一些仑机有机溶剂人邪分根据挥发变为废气排放。目前,对于这样的废气排放,关于电子厂工业废气我们可以采取焚烧处理、活性炭吸附、冷凝法、光催化氧化法、高温等离子体净化处理等六种方法。
电子工业废气VOCS普遍的种类有:异丙醇、丁酮、甲苯、醋酸丁酯、甲醇、乙醇、丙酮、二甲苯、丙二醇单甲醚、苯乙烯、乙酸乙酯、正丁醇、甲基异丁基甲酮、二氯甲烷、环已酮、乙苯、正庚烷、甲氢呋喃、三氯乙烯和氯方等。
电子厂工业废气处理方式 ,如下:
1、焚烧处理(RTO):能源消耗大、运行成本高,适合处理含量较高的、小风速工业废气;
2、活性炭吸附法(活性碳):投资小、加工工艺简单,易饱和,一定要与解析、冷凝、焚烧处理等方式 共用方能实现排放量标准;
3、冷凝法:与吸收、活性炭吸附等方法共用,将工业废气活性炭吸附提纯后冷凝、提取,回收利用之中有使用价值的有机物。这样的方式 常见含量偏高、风速小的工业废气处理场合。
缺点是:项目投资、能源消耗、运行成本相对高,冷凝回收利用物提纯处理后,仍有很大多数液态废料一定要更进一步处理。
4、沸石转轮提纯+焚烧处理:沸石转轮浓缩设备主要是依靠进口的,自行机械设备暂不成熟。该加工工艺同样与生产线设备、加工工艺存在匹配关联;
5、光催化氧化法:采用C波段(仅低于割切不锈钢的激光,强过氩弧焊机光源的数十倍强度)在机械设备内,强裂化腐臭味的成分分子链,转变的成分结构,将高分子污染源的成分,裂化、氧化变为低分子无害的成分,如水和CO2等;
6、高温等离子体净化处理法:根据压缩、高压聚核充放变为高温等离子体。反应器工作压力增大,废气容量大幅膨胀,在高温、高电势的双重作用下,工业废气瞬间(万分之5秒)变为高温等离子体,之中长分子链裂化成单质原子,有机物净化率在90%上下。